精密洗浄
【中央】クリーンルーム対応クレーン（490kg）【右】クリーンブース（クラス1000）
入口エアーシャワー
エアーパーティクルセンサー
クリーンオーブン（〜200℃）
脱気シーラー
18MΩ超純水超音波洗浄機
1MΩ純水超音波洗浄機
設備紹介
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