精密洗浄
不純物の混入を嫌う部品を、クリーンルーム内で超純水超音波洗浄を行い、脱気2重梱包後出荷します。

クラス10000のクリーンルーム内で超純水(10MΩ・cm以上)
超音波洗浄を行い、クリーンオーブンで乾燥後、クラス1000のクリーンブースで脱気ポリエチレン2重梱包を行います。
ご要望により、UVライト(18mW/cm2 38cm距離)によるパーティクル検査も対応します。超純水(10MΩ・cm以上)超音波洗浄槽に入らない大物でも、純水(1MΩ・cm以上)超音波洗浄後、クラス10000のクリーンルーム内で超純水(10MΩ・cm以上)シャワーを行う事により不純物の混入を防止し、脱気ポリエチレン2重梱包を行う事が出来ます。
・超純水(10MΩ・cm以上)槽:700(W)×700(L)×500(H)
・純水(1MΩ・cm以上)槽:1400(W)×1400(L)×400(H)